用于鏡面電火花加工的電極材料一般是紫銅或者洛銅，洛銅的電極損耗更小。選用的銅材必須質地均勻、含雜質少，不良的銅材在鏡面加工中容易出現電極損耗大、表面起皺等異常，這個要高度重視。銅銅合金電極雖然可以實現極低的電極損耗，但鏡面效果欠佳。
鏡面電火花加工用的電極必須進行精修拋光，不能有刀痕與缺陷，否則這些缺陷會復制到工件的加工表面，但并不是要求電極的表面要達到鏡面要求。
一般鏡面加工電極的尺寸縮放量取單側0.2～0.05 mm，精加工電極一般取單邊0.1mm，在加工面積比較小時可取小一些，仿形精度要求高時可取小一些，混粉加工時適當取大一些。如果電極尺寸縮放量取得太小，加工速度會受到極大地降低。
精密的鏡面電火花加工要用使用多個電極。這就要求多個電極的一致性要好、制造精度要高，更換電極的重復裝夾、定位精度要高。一般采用高速銑制造電極、使用基準球測量的定位方法、使用快速裝夾定位系統進行重復定位等先進工藝來滿足。